PRN11由差压式MEMS压电传感器和皮拉尼传感器集成组成,两个传感器在测量上实现无缝过渡。它具有集成一体的电子控制线路、数字通讯系统、模拟电压输出和作为工艺控制的两个设定点。
连续真空工艺设备通常都将真空锁作为持续抽空主腔体的界面,当真空锁处于大气压时或高真空时,需要一个独立的传动器来指示指示阀的开启方向。PRN11结合MEMS压电与皮拉尼各自的优点形成一个集成的,紧凑的组件,即实现了大气压附件高精度、快反应、高重复的压力测量,又拥有大气压到0.001Pa的宽量程,是理想的真空锁控制压强传感器。