二氯二氢硅用什么流量计?

问：二氯二氢硅用什么流量计?

解答：二氯二氢硅介质可以使用气体质量流量计进行精密测量，二氯硅烷在常温常压下为具有刺激性窒息气味和腐蚀性的无色有毒气体。空气中易燃，44℃以上能自燃，燃烧氧化后生成氯化氢和氧化硅。加热至100℃以上时会自行分解而生成氯化氢、氯、氢和不定性硅，建议使用气体质量流量计进行精密测量，其特点是具备良好的环境适应性，量程比高达1：100，连接方式简易，易于安装和使用，响应速度快、集成度高、体积小巧，全量程输出稳定性高、精度高、重复性好。

气体质量流量计

气体质量流量计的工作原理

气体自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器（RTD）。白金RTD 丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴

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